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  • 产品名称:新款ULVAC爱发科长期稳定真空计

  • 产品型号:SWU10-U
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
新款ULVAC爱发科长期稳定真空计 新款ULVAC爱发科长期稳定真空计
详情介绍:
新款ULVAC爱发科长期稳定真空计
新款ULVAC爱发科长期稳定真空计


CCMT-D系列、陶瓷传感器根据气体的压力变化发生变形、电容式真空计根据气体的压力变化检测。
传感器部由陶瓷一体压力构造,具备良好的再现性、稳定性,在低·中真空领域不受气体的影响种类(可以测量**),能够进行地面测量。

特点

  • 长期稳定
  • 使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性
  • 内置式温度补偿回路
  • 采用新结构保护传感器结构
  • 可以通过按钮进行零点调整

目的

  • 用于成膜设备工艺中的压力监控
  • 用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控
  • 用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控

规格

模型 中科大
满量程 CCMT-1000D 133kPa(1×10 3托,1.33×10 3毫巴)满量程
CCMT-100D 13.3kPa(1×10 2托,1.33×10 2毫巴)满量程
CCMT-10D 1.33kPa(10托,13.3毫巴)满量程
CCMT-1D 133Pa(1 托,1.33 毫巴)满量程
解决 满量程的 0.003%
准确度*1 ±0.2%±相对示值的温度系数(该值表示精度零点调整)
温度系数 零电压 0.015 %满量程/℃
跨度电压 0.01% 电阻/ 
工作温度范围 10 至 50 (50 至 122 
回应率 30毫秒或更短
气体接触段材质 Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料
输入功率 DC14~30V,1W
输出 DC 0 至 10V 满量程
重量 329克
方面 55毫米×117毫米
温度补偿 内部温度补偿电路
电连接器 D-sub 15 针公头(No.4-40,DNC 螺丝)

*1 :非线性、滞后、重复性在 25℃ (77℉) 环境工作温度下,运行 2 小时后无温度影响,调零后
*2 : 28% Ni、23% Co、49% Fe
*3 : 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe


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