企业信息
第1年
- 入驻时间： 2024-08-01
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产品详情
简单介绍：
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
详情介绍：
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
全新ULVAC爱发科皮拉尼A2K-40K直流电源
异常 放电 阻止单元
A2K 系列
A2KH-25
爱发科
A2K系列是在反应性溅射工艺中，在直流电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄陷阱来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。
能在原来的电源上简单的追加，随后实现产量和良率提高。
特点
-
通过减少异常排水
来提高产量可以输入更高的功率 -
主板损坏
能够减少电弧引起的主板损坏 -
控制主轴的问题
与RF溅射相比，可以降低主轴温度 -
简单的连接性
可以连接到现有设备 -
可变的反向脉冲频率
A2KH-25：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用 -
脉冲同步系统
可以输出多个A2K模块的同步脉冲*2*3 -
主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K*多可以6台并联运行
应用：时钟同步系统
当同一个腔室内阴极反向接近相对时，或者，当多个A2K反向互干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止反向干扰。*3 *4
*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和显卡操作。
*3：A2KH-25需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K- 20K / 40K需要光同步电缆（脉冲链接电缆）
目的
- FPD用反应溅射设备
- 工业涂层用反应溅射设备
- 彩色TFT用反应溅射设备
规格
| 模型 | A2KH-25 | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入 | AC90至110V | AC100至240V | |
| 频率 | 单相50/60Hz | |||
| 力量 | 100 伏安 | 400 伏安 | ||
| 漏电流 | 1mA以下 | |||
| 输入规范 | 工作电压 | -100 至 -800V | ||
| 工作电流 | 0 至 25A | 0 至 50A | 0 至 100A | |
| 输入结构 | 连接器连接 | 连接器连接 | ||
| 输出规格 | 脉冲范围 | 5μs/10μs（内部开关切换） | 1至18μs（有频率限制） | |
| 振荡频率 |
・脉冲范围5μs： 2,5,10,15,20kHz ・脉冲范围10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz |
1 至 50KHz 以 1KHz 为增量可变 |
||
| 反转脉冲电压 | 直流发电机输出电压的10％～20％。（取决于负载阻抗） | |||
| 耐电压 | 连续运行 | -1500伏直流 | ||
| 并联运行 | 没有什么 | *多可控制6台*5 | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||
| 尺寸（宽×深×高) | 尺寸:238×450×149毫米 | 483×630×177毫米 | ||
| 重量 | 16公斤 | 30公斤 | 45公斤 | |
| 适用标准 | 有害物质限制 | |||
使用环境温度 5℃～40℃ (无结露)
使用环境：避免阳光直射、高温、灰尘、振动，无腐蚀性气体。
*5： A2K-20K 与 A2K-40K 不能一起使用。