小型 蒸发设备
DEPOX 系列
ULVAC
将架台上的主泵,辅助泵,皮拉尼真空计,电离真空计,阀门配管,电气系统等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。 DEPOX系列有不同排气系统配置的4种类型。 易于操作适用于基础研究开发等实验用途。
※1:*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。
※冷却水管,请客户自行准备。
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