TESCOM 64-5000 高纯减压阀入口高压,出口绝压,低中流量

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TESCOM 64-5000 高纯减压阀入口高压,出口绝压,低中流量

TESCOM提供了广泛的标准和定制设计的稳压器,包括高科技复杂的

项目和简单的工业应用
优点__________________________________________________

1.       高清洁度,10Ra,25Ra

2.       负偏置控制绝压

3.       金属对金属的密封膜片

4.       哈氏合金材质可选

应用__________________________________________________ 
-  真空压力控制

-  半导体制造

-  阀组箱

-  有毒气体分析

技术规格______________________________________________

稳压器-减压阀

*大入口压力: 120, 600, 3500 PSI

出口压力:

50 mm Hg~15 PSI

50 mm Hg~30 PSI

50 mm Hg~60 PSI

50 mm Hg~100 PSI

设计实验压力: 150% Max

泄漏: <1 x 10-9 atm cc/sec He

操作温度:

PTCFE阀座: -40~60 ℃

Teflon PFA.阀座: -40~71 ℃

流量:

120PSI: Cv=0.24

600PSI: Cv=0.15

3500PSI: Cv=0.06

材质

阀体: 316不锈钢电解抛光或

316L VCR不锈钢电解抛光

阀座: PTCFE, Teflon.

弹簧: 316不锈钢

其余部件: 316不锈钢

接口: VCR, 焊接, H.P.I.C

内部容积: 2.9 cc

重量: 0.9 kg

资料下载___http://file.yizimg.com/2623/201212.pdf_
上海市番禺路390号时代大厦1201室
 Rm1201, Shidai Building, No390, Fanyu Rode, Shanghai, PRC
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