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TESCOM 64-5000 高纯减压阀入口高压,出口绝压,低中流量
TESCOM提供了广泛的标准和定制设计的稳压器,包括高科技复杂的
项目和简单的工业应用
优点__________________________________________________
1. 高清洁度,10Ra,25Ra
2. 负偏置控制绝压
3. 金属对金属的密封膜片
4. 哈氏合金材质可选
应用__________________________________________________
- 真空压力控制
- 半导体制造
- 阀组箱
- 有毒气体分析
技术规格______________________________________________
稳压器-减压阀
*大入口压力: 120, 600, 3500 PSI
出口压力:
50 mm Hg~15 PSI
50 mm Hg~30 PSI
50 mm Hg~60 PSI
50 mm Hg~100 PSI
设计实验压力: 150% Max
泄漏: <1 x 10-9 atm cc/sec He
操作温度:
PTCFE阀座: -40~60 ℃
Teflon PFA.阀座: -40~71 ℃
流量:
120PSI: Cv=0.24
600PSI: Cv=0.15
3500PSI: Cv=0.06
材质
阀体: 316不锈钢电解抛光或
316L VCR不锈钢电解抛光
阀座: PTCFE, Teflon.
弹簧: 316不锈钢
其余部件: 316不锈钢
接口: VCR, 焊接, H.P.I.C
内部容积: 2.9 cc
重量: 0.9 kg
资料下载___http://file.yizimg.com/2623/201212.pdf_
上海市番禺路390号时代大厦1201室
Rm1201, Shidai Building, No390, Fanyu Rode, Shanghai, PRC
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