标乐抛光知识的常见问题解决办法以及终抛液和抛光布的选择

 划痕较多 

如果在细抛阶段划痕仍然较多，可能说明存在交叉污染。在进入下一道工序前冲洗样品、样品夹具和底盘有助于去掉大的金刚石颗粒，减少交叉污染。如果样品有裂纹或多孔，应按照冲洗时间要求使用超声波清洗。超声波清洗时间过长可能损坏样品。在抛光的后 30 秒，应停止添加抛光液，用水清洗抛光布表面和样品。

浮 凸

浮凸是较硬的相或组元在比较软的基体上凸起的现象。减少抛光时间，使用短毛绒布，或者使用金刚石抛光膏代替抛光液，可以防止浮凸出现。

磨料嵌入 

该现象是指较硬的颗粒嵌入在较软的材料裂纹或缝隙中。使用更为固定的磨料（例如 MetaDi 金刚石抛光膏）或在进入下一步前进行超声波清洁，可以减少嵌入发生的可能性。

塑 变

塑变虽然发生在表面，但是非常严重的损伤，由于材料较软或润滑不好导致，使得无法看清微观组织结构细节。使用短绒毛抛光布、振动抛光或腐蚀后重新进行细抛，可以改善塑变问题。

彗星拖尾

彗星拖尾是硬质相在软基体中粘合不好时，从颗粒或孔隙中起源的单方向细槽。为避免此问题，应使用硬质无绒布和/或降低施加的压力。对于多孔材料，可使用树脂或蜡封堵孔隙。

2）终抛液的选择

抛光液

抛光液是为了去除肉眼不可见的表面变形层。当使用高倍物镜、偏振光、微分干涉对比来评价样品以及使用 EBSD 技术时，去除这种变形是必不可少的。

 不同类型的抛光液采用不同的抛光机制。MasterPrep 氧化铝抛光液含有溶胶氧化铝，可通过纯粹的机械抛光来高效地去除材料，达到优异的表面处理效果。而 MasterMet 2 非结晶硅胶抛光液，具有弱碱性，通过化学-机械的抛光方法与材料表面形成反应层，柔软的硅胶去除反应层，可得到高质量的表面。

材料类型决定着抛光液的选择

推荐方法

MasterPrep 氧化铝

采用纯粹的机械方法去除材料

较适合铸铁、钢、不锈钢、铜、聚合物、矿物质、微电子、贵金属

不易团聚

8.5 pH

MasterMet 2 硅胶

利用化学反应生成反应层，然后利用机械方式去除反应层

较适合铝、难熔金属、微电子中的硅、陶瓷

非结晶抛光液，获取优异的无划痕表面效果

10.5 pH。

抛光介质的选择至关重要，在以下铜焊层的示例中，MasterPrep 和 MasterMet 适用于不同的分析。

MasterPrep 氧化铝

纯粹机械抛光可使样品表面平整，但是无法保证铜不发生损坏。非常适合涂层测量和边界层分析。

MasterMet 硅胶

化学-机械抛光可在焊料上产生腐蚀，还有轻微的抛光浮凸，但是不会损伤样品。非常适合铜的微观组织分析和 EBSD。

3）抛光布的选择

抛光流程

抛光由两个或更多的主要步骤组成，采用逐步加细的磨料抛光。研磨后首先进行粗抛，去除研磨过程中造成的大变形。然后是中间抛光步骤，以进一步减小表面变形和减少划痕。再进行细抛，去除表面的所有变形和划痕，让表面效果变得**。要达到**的抛光效果，抛光布的选择至关重要。

           粗

许多大的划痕

在硬或中硬抛光布上加入磨料

          中

许多轻微划痕

在硬、中硬或软抛光布上加入磨料

           细

无划痕表面

在更软、更有弹性的表面上加入抛光液磨料

适合各种抛光应用的标乐抛光布

选用的抛光布类型主要取决于要处理材料的类型和*终分析要求。标乐提供各种材质、编织方式和绒毛长短的抛光布，满足每一种应用需求。

易于使用的磁性衬背抛光布

快速更换抛光布，无需撕下粘贴。耐用的磁性衬背可减少更换抛光布的频率，提高效率。

无绒布（硬编织）

编织布，磨料存在编织布表面时，可提高样品去除速率。这种布*适用于提高表面平整度。

绒布（柔软）

这种布更柔软，磨料可深入绒毛内部，相较于硬编织布，去除率较小，可得到更好的表面质量。

                                      标���抛光布选择指南

★ = 适合大部分材料   □ = 氧化铝

◆ = 金刚石尺寸    ○ = 硅胶

★ UltraPad™

硬编织，无绒毛

◆ 6µm 及以上

★ UltraPol™

硬编织，抛光稍弱的丝织物

◆ 6µm 及以上

★ Nylon

抗油，中等硬度编织，无绒毛

◆ 6µm 及以上

★ TexMet™ P

硬的、有孔的无纺布

◆ 6µm 及以上

★ TriDent™

柔软耐用的合成编织布，无绒毛

◆ 15 到 0.02μm

★ TexMet C

非编织加压

◆ 15 到 0.02μm

★ VelTex

短绒毛的合成天鹅绒布

◆ 9 到 1μm

★ VerduTex

耐用的、中等硬度的合成丝织物

◆ 9 到 1μm

★ WhiteFelt™

柔软耐用的毛面羊毛毡

◆ 6 到 0.02μm

★ PoliCloth

中等硬度的编织羊毛毡

◆ 6 到 1μm

★ MicroFloc

柔软的长绒毛布 

◆ 3 到 0.02μm

★ MicroCloth™

柔软的、通用的、长绒毛的合**造丝绒布

◆ 5 到 0.02μm

★MasterTex™

柔软的、短绒的合成天鹅绒布

◆ 1 到 0.05μm

★ ChemoMet™

柔软多孔的耐化学腐蚀合成布

◆ 1 到 0.02μm