电子背散射衍射（EBSD）技术是材料科学的重要表征手段之一，广泛应用于多个研究领域。其提供了全方位的微观组织表征，包括晶体结构测量、晶体取向测定、晶粒大小测定、物相鉴定等。
EBSD衍射区域只发生在样品表层几十个纳米的深度范围内，所以对样品制备的质量要求很高，表面必须光洁平整、无污染层、无变形层以及无应力。而振动抛光是一种有效制备EBSD试样的方法，振动抛光机可快速去除样品表面机械化制样后残留的细微划痕和变形层，从而达到一个合格的EBSD样品要求。
试样表面的制备质量很大程度上决定着EBSD的质量，抛光布的表面质量是保证振动抛光能够完成的基础。因此使用后对于抛光布的彻底清洗，这一步骤尤为重要。如果使用后不进行及时清洗，振动抛光机的工作容器中留有的残渣及抛光液结晶颗粒等，会对下次的正常使用造成影响。
曾遇到过客户在制备AI合金的EBSD样品时，振动抛光完成后，发现样品表面嵌入许多异常黄色颗粒，电镜下无法观察到衍射花样。经后续排查为上次铜合金振动抛光后残留的铜颗粒碎屑，在振动抛光过程中随着抛光布嵌入AI合金样品表面。因此抛光布的彻底清洗是非常重要且必要的。
以下展示抛光布正确的清洁操作：
由于振动抛光机上的抛光布没有频繁更换的需求，所以是直接粘黏在底盘上的。
由于其不像普通铁盘粘黏的抛光布一样可以直接取下清洁，因此有一部分客户会觉得无从下手，今天我们就来看看如何正确通过三个简单步骤清洁振动抛光机的抛光布吧!
关闭设备，拧开6个T型把手，端起整个抛光部件移至排污水池。
01清洗抛光室
移开压环，使用清水冲洗抛光室，并配合刮板去除残余抛光液。
02清洗压环
抛光室清洗完成后，同样使用清水冲洗压环，冲洗后盖回抛光室。
放下抛光部件并转动至卡孔位，安装好6个T型把手，然后盖上玻璃罩，自然晾干即可。