Furness测漏仪实验步骤A.抽真空时间 启动机械帮浦，接下来开启粗略真空阀门，以每20秒纪录压力到torr，启动涡轮分子帮浦，等候帮浦转速达到额定转逤，开启真空阀门，以每20秒纪录压力，直至压力在torr。 软体模拟部份：量测腔体至机械帮浦之管长、弯管内径及管径，建立切换器管路，接着设置抽气区间之起始压力、**压力及腔体容积，依据厂商提供之机械帮浦及涡轮帮浦抽气速率，做为抽气帮浦的设置，将所量测之腔体面积、漏气率及不锈钢材质释气系数对气体负载设置。比较实验值与软体模拟值的结果。
B.利用压力回升法、氦气测漏仪计算腔体漏气率 压力回升法：启动机械帮浦抽至torr接着开启高真空阀门与管路阀门以涡轮分子抽至高真空，当压力达到torr，关闭高真空阀门与管路阀门，以每小时为单位纪录腔体压力变化量。 氦气测漏法：将真空切换器与氦气测漏仪破大气后，两者以管路相连接，把真空切换器抽至高真空1x mbar，于腔体外围将氦气由下往上喷于系统衔接处，以氦气测漏仪量测氦气漏率以求得腔体漏气率。将两者实验结果做比较讨论。