真空气氛炉和真气热处理的飞速发展，在目前少品种、大批量的生产中，尤其是碳素钢和一般合金结构钢件的光亮淬火、退火、渗碳淬火、碳氮共渗淬火、气体氮碳共渗仍以应用可控气氛为主要手段。所以真空气氛炉应用热处理仍是先进热处理技术的主要组成部分。
加热设备：密封多用在炉和多用炉生产线自动化程度高，生产柔性大适用性强，因而应用广。
真空气氛炉应用热处理技术，渗碳。高温渗碳是渗碳工艺发展趋势之一。提高渗碳温度可以显著提高生产率和节能耗。为此研究开发可用于1000度以上的电辐射管材料，低压渗碳技术的开发和完善为实现高温渗碳（1040度）创造了条件。
真空热处理的优越性，真空气氛炉应用热处理是和可控气氛并驾齐驱的应用面很广的无氧化热处理工艺，真空热处理不仅可实现钢件的无氧化、无脱碳，而且还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，因而它还属于清洁和精密度生产技术范畴。真空加热、常压或高压气冷淬火时气流均匀性对零件淬硬效果和质量分散度有很大影响。
真空气氛炉除了高压淬火外，在先抽真空而后填充高压惰性气体后施行对流加热可以比传统的真空辐射加热速度提高一倍以上，从而明显提高加热效率。