晶体退火炉是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片、新去式的炉。该炉采用进口1900型硅钼棒作为发热体和本公司的氧化锆内衬炉膛。可在1700℃下连续使用，*高温度达1800℃。侧开门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或惰性气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度稳定度达±1℃，*高温度为1800℃。真空系统采用特种设计技术，具有操作**、方便、真空度好，极限真空度可达20KPa，密封性好，真空保持时间长。该气氛炉可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用独特的密封技术，可长时间保压，案例性能好，操作方便。
晶体退火炉采用双层壳体结构和40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用进口1900型氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用外壳整体密封、盖板密封采用硅胶泥、炉门采用硅胶垫并通有水冷系统，气体经过流量计后由后膛进出，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校科研院所、工矿企业做气氛保护烧结、气氛还原用的理想产品。
晶体退火炉的氧化锆氧量传感器是根据浓差电池原理进行氧量测量的。氧量传感器由两个半电池组成，一个是已知氧分压的铂参比电极，另一个是待测氧含量电极。两电极中间用固体电解质－氧化锆连接。由于两个半电池的氧分压不同，而氧化锆电解质又是氧离子导体，故在一定的温度下，两电极间产生的电动势大小，是由两个半电池的氧浓度差决定的。因而在固定参比电极氧分压的情况下，由测得的电动势就可以得到测量电极的氧分压。电信号经分析处理后，显示的是对应的氧含量。