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- 产品名称：半导体真空快速退火炉
- 产品型号：SLK400-50
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2017-04-11
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简单介绍
半导体快速退火炉以上等加热模块为加热元件，采用双层壳体结构和31段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，半导体退火炉炉膛采用不锈钢材料，退火炉双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用外壳整体密封，盖板用硅胶泥密封，炉门配有水冷系统并配有硅胶垫，，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿、电子企业做高温钎焊、气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火、熔化﹑分析而研制的专用理想设备。
产品描述
（半导体）快速退火炉技术规格要求及参数
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项目
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名称
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内容
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备注
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产品名称
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（半导体）快速退火炉
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主 要 技 术 参 数
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内胆尺寸
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宽530*深430*高220mm
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外形尺寸（约）
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宽 920 *深900 *高 740 mm
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温度范围
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室温 MERGEFIELD "温度范围" ～+450℃可调（根据加热板实际热承受能力而定）
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加热方式
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采用铸铝加热板，
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温度波动度
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≤±1℃
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温度均匀度
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测温探头的精度为±0.5℃，控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点， （恒温空载状态下）（加热板的温度均匀性±1℃）
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升温速率
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≤8℃/min .空载时升温速度：室温到200℃在8分钟内到达；
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外壳温度
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温升不超过环境+25℃，门周边除外。
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电源
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三相五线制，380V，50HZ
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总功率
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20KW，使用功率16KW
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箱 体 结 构 特 征
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外壳材料
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外层A3厚2.0冷板，
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内胆材料
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采用5mm厚SUS304不锈钢板制作
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保温材料
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1. 采用1400型纤维毯保温
2. 具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为60mm
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烟气隔离罩
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炉体左右后三个面用亚克力板围起来，炉体正面做对开式门，四周用玻璃胶密封，开炉时可让烟气有效排除。
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密封材料
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密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作，可耐温不变形，门与内胆采用单层密封形式，加强密封效果
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门
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配两个圆形观察窗，炉门密封圈不易老化和烧坏，真空门装有电脑控制气缸开启和关闭（闭合传感器，确定门关闭）可90度运动
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观察窗
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采用圆形观察窗口，观察窗直径80，生产过程一目了然
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控制系统
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加热部分
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采用导热板加热，带水冷急速冷却
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冷却部分
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炉口方管及加热板
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电箱
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电箱与烘箱分离安装
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抽真空
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箱体抽气口加装电磁阀阀（带过滤器）直径100*180mm
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氮气部分
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氮气，需加电磁阀控制，气管管径直径8mm，设备侧面设有氮气接口和甲酸接口，并用一个三通的常闭电磁阀，其后再接一个电磁阀，以控制进入腔体的气体量，电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。
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温控部分
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1. 采用微电脑智能型温控器
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控制器
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采用台湾琦胜HM-782S触摸屏，精度高，稳定性好，设有手动，自动，工业设定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,与台湾琦胜（型号PLL-2010-002A）可编程控制器通讯控制，能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温，预留3个控温探头
流程：合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成（供方负责加工，需方负责编程设计）
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温度传感器
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搁板两个感温探头预留在加热板顶部对角处，加热板侧面配一个超温的感温探头，K型探头PID温度控制器需使用3个台湾琦胜温控器，2个程序表，1个显示表
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自动恒温
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1. 温控器可根据用户设定的温度值，采用PID自动计算输出功率的大小，
2. 越接近温度设定值时，输出功率越小，以达到恒温控制的目的，并可节能省电
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真空度
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采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计，传感器采用成都睿宝品牌，10分钟内抽至20pa，20分钟内漏率80pa。
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电磁阀
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（上海西马特）电磁阀，1：真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2：截止阀（氮气充甲酸、水、空气GDC-A）3：压差式充气阀CYC-JQ
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超温报警
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当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能
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功 能
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接地保护
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结构件**接地保护。
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电源缺相、相序保护
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配有相序保护器
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环境温度
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- MERGEFIELD "环境温度" 5℃-40℃
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相对湿度
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≤85%RH
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电源
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AC380V±10%，50Hz
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免费进行技术培训。
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