SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉，可针对于材料的实验探索，也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶，如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，*高温度可达2100℃，*大可长出晶体尺寸为3英寸。
技术参数
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感应射频功率为25KW，射频0.2 - 20 KHz
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提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶杆旋转速度0 ~~ 40 RPM
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*大提拉行程：50CM
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*大可熔融温度为：2100℃
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输入电源：三相，380V，25KW
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真空腔体尺寸为 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以达到10-3 torr（用机械泵）10-5 tor（用扩散泵）
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冷却水需求：
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所需水压 0.13~~0.18MPa
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所需水流量60 L/minute
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冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆
产品尺寸:
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炉体: L880x W1250x H2640mm
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控制柜:L680x W540x H1700mm
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中频柜: L965xW 812xH 1219mm
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产品净重 1.5 T
