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- 产品名称：高真空RTP 炉
- 产品型号：
- 产品展商：其它品牌
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- 发布时间：2018-03-30
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简单介绍
高真空RTP炉是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管)，配有高真空系统（机械泵 +分子泵) ，带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片（*大达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热，*快升温速度为 50°C/second. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C。计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线
产品描述
技术参数
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炉子
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加热元件
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8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm)
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工作温度
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· *高1100°C
· 炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却
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*快升温速度
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室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
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*快降温速度
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64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下)
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加热区
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4" X12"恒温区（ +/-5°C ）
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温控仪
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· PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能
· 热偶: K type
· 自整定功能
· 控温精度: +/- 0.5°C
· RS485 串口和温控软件
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石英管和样品架
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· 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
· 3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料
· 一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
· AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性。
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真空法兰
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· 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封，.
· 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。
· 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计测量其真空度，其测量范围为3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
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流量计
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装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min
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电源
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208-240 AC, 50/60 Hz 单相,
*大功率12KW. (> 60A 保险)
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结构
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· 移动架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
· *大承重: 600 Lbs
· 分子泵控制面板 : LCD 显示
· 前级泵 和 分子泵 安装在移动架里面.
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高真空系统
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真空度
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6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内)
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控制面板
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· 一键操作 - 按一下“start"键，前级泵和分子泵便开始工作.
· 系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速.
· 自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空，系统会自动保护，避免因过热或过流而造成损坏。
· LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面，使操作更简单.
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启动时间
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2 minutes
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前级泵在10mbar下的流速
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3.8 L/min 50Hz ， 4.4 L/min 60Hz
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电源
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110V AC 和220V AC 任意切换, 50/60Hz
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功率
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*大: 110Watt
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使用注意事项：
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· 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
· 当炉体温度高于1000℃时，炉管��不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度＜1100℃
· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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