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主营:我公司主要産品有:可程式高低溫箱、恒溫恒濕箱、冷熱衝擊箱、鹽霧試驗箱、老化箱、精密高溫箱、耐候試驗箱、加速壽命試驗機、及力學方面的振動機、恒溫恒濕加振動综合試驗機、跌落機,干燥箱、燃烧试验机。 高温炉。管式炉、气氛炉等
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小型滑动PECVD管式炉系统-OTF--1200X-50S-PE-SL[产品打印页面]

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  • 产品名称:小型滑动PECVD管式炉系统-OTF--1200X-50S-PE-SL
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  • 发布时间:2018-03-30
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简单介绍
小型滑动PECVD管式炉系统-OTF-1200X-50S-PE-SL
产品描述

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。


技术参数

名称 小型滑动PECVD管式炉系统


视频


宣传视频

特点

  • 与普通CVD相比可以在低温环境下进**相沉积实验
  • 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温
  • 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
  • 通过工艺调节来控制化学计量
  • 可以沉积各种材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

开启式管式炉


  • 输入电源: 208 – 240V AC,功率: 1.2kW
  • *高工作温度1200°C,小于60分钟
  • 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字了解涂层的详细参数)
  • 连续工作温度1100°C
  • 炉管采用高纯石英管:50mmOD x 44mmID x 1000mm L
  • 可设置30段升降温程序,并且带有过热和断偶保护功能
  • 加热区长度:200mm 单温区.
  • 恒温区2.3" (60mm)  (+/-1°C) @ 1000°C 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系
  • 以下图片显示加热区的温度曲线图
    (点击图片查看详细资料)


等离子体射频电源

  • 输出功率:          5 -300W 可调 稳定性± 1%
  • 射频电源频率:          13.56 MHz 稳定性±0.005%
  • *大反向功率:      200W
  • 匹配:  自动
  • 射频电源电子输出端口:        50 Ω, N型半导体, 阴极
  • 噪音:                      <50 dB.
  • 冷却:                风冷
  • 电源 :                208-240VAC, 50/60Hz


真空法兰和接头

  • 真空法兰采用 304不锈钢制作.
  • 左端法兰上安装有 KF-25真空接口,2KF-25快速卸装卡箍,KF-25直角阀,KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀



真空泵及水冷机

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2 Liter /S
  • 出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)
  • 真空度:  10-2 torr
  • 可选水冷机
     



产品尺寸和重量

  • 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)
  • 净重: 160kg

质保期

一年质保期,终身维护,(相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件)

CE Certified

使用注意事项
  • 工作时需连接水冷设备
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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