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- 产品名称：精密液体气相发生器
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2018-03-30
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简单介绍
精密液体气相发生器其液体流量是通过一数字液体泵来控制，*大流量为10ml/min。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。LVD-F1能够导出多种液体，比如ETOH, SnCl4, TiCl4r, SiHCl3, 和Zn(C2H5)2，还有多种有机物混合。
产品描述
技术参数
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名称
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精密液体气相发生器
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电源
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·220v 50Hz
·功率：2200W
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蠕动泵
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·**度：+/- 0.5% FS
·流量: 0 - 10 ml/min，可调，*小速率0.1ml/min
·将吸液管放置在溶液容器中，蠕动泵可自动抽取液体
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加热＆控温
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·流体和气体会在一个316不锈钢罐中加热，此罐已经安装在壳体中，不锈钢罐加热*高温度：550ºC
·不锈钢出气管出设置有二次加热带，防止蒸汽在输出过程中冷凝，二次加热带加热*高温度：200ºC
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气体流量控制
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·气体流速通过浮子流量计控制
·量程：0.2- 2L/min（可调）
·一压力表安装在壳体面板上，可以测出液气混合罐中的气体压强
·面板上安装有两个不锈钢针阀，以控制气体的进出
·出气口尺寸：1/4”OD的316不锈钢口
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质保期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用提示
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·可以选择加热带，缠绕在外连接的管道上，以保证液体蒸汽在传输的过程中不会液化
·您可以选购精密质子流量计，输入气体更加准确
·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接
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外形尺寸
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390mm L X 420mm W X 360mm H
净重：10Kg
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免责声明
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