恒压控制系统-GZK-PID-VRD24[产品打印页面]

产品特点

• 含一双旋片机械泵VRD-24，抽速可达6.6L/s

• PLC触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷

• 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到**的恒压控制

输入电源

• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

• 功率为1000W

真空测量单元

• 型号：PGC-554-LD

• 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr

• 精度：

3.7×10-4 … 7.5×10-4 torr (N2) % of reading ±50 

7.5×10-4 … 75 torr (N2) % of reading ±15 

75 … 713 torr(N2) % of reading ±5 

713 … 788 torr(N2) % of reading ±2.5

真空泵系统

• 机械泵型号：VRD-24

• 抽速：6.6L/S

• 进气口：KF25

• 工作环境温度：5-40℃

• 噪音：≦58 dB  

• 极限真空度：3*10-4 torr（不带负载）

压力恒定控制系统  

• 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm）

• 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                   ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                   ＞10 torr------200torr（±%5）

外型尺寸

• 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

产品重量

• ~40kg

质保期

• 一年质保期，终身维护

应用

• 此系统配套上相应的不锈钢密封法兰系统可以和本公司的真空管式炉和CVD、PECVD系统相连接，实现气氛的恒压控制。

• 此系统与本公司磁控溅射仪等镀膜设备匹配使用，可实现反应磁控溅射的气氛恒压控制。

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