HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
技术参数
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特征
(点击图片查看详细资料）
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采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
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采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布
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磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命
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标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配
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安装是采用标准真空接头，便于操作
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更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度
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所需功率
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*大溅射电流
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3A
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溅射电压
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100-1000 V
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溅射时腔体真空度
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5-100 mTorr
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溅射均匀性曲线图
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尺寸
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靶材
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直径: 2.0英寸(50.8mm)
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厚度: 对于非磁性靶材，*大厚度为1/8英寸
对于磁性靶材，*大厚度为1/16英寸
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靶材利用率：30%
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磁铁:NdFeB 稀土磁铁
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需要冷却水
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流速: 0.8 GPM
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进水温度:<20 ℃
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水管:0.25" OD.
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可选配件
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当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
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此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
 
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循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
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外形尺寸
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质保
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一年质保期，终生维护
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