TM106-LD薄膜测厚仪/层积速率显示仪的工作原理,是依据所测样品薄膜厚度的改变而导致石英晶片振荡频率改变。将所蒸发材料的密度输入到测试系统中,便可测量层积薄膜的厚度。此款测厚仪的分辨率为0.037 Å。
技术参数
功率
400 mA, 5V (dc)
测试频率范围
6.0 - 5.0 MHz
频率分辨率
+/- 0.03 Hz @ 6 MHz
测量区间
0.10s
参考频率稳定性
+/- 2 ppm
厚度和速率分辨率
+/- 0.037Å 基频=6MHz
厚度显示分辨率
1 Å
尺寸
11.4 x 7.6 x 2.5 cm
重量
57g
操作系统
Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000
晶体探针架
软件
包括STM-2软件
可选石英晶体
安装
质保期
一年质保期,终身维护
应用
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