CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。
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技术参数
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名称
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小型双通道浮子混气系统--CGM-2F
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浮子流量计
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两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min
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混气罐
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内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气
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机械压力表（混气罐）
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-0.1-0.15 MPa
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关键和阀门
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·采用ss304不锈钢
·三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）
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外形尺寸
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340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
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可选
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·CVD或者PECVD
·液相气体发生器
·1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F
·Plasma等离子清洗
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净重
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约10 Kg
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质保期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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