名称
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等离子清洗机- PCE-80
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主要参数
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·*大射频功率: 100 W
·真空泵功率: < 500W
·总功率: < 600W
·电源:AC 220V , 50Hz
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射频电源
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· 射频功率可在 0 - 100W之间调节
·频率: 13.56 MH
·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验
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等离子腔体
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·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
·铝制折叠式法兰来进行真空密封
·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
·此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏
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控制面板
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·通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等
·仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可**地控制进气流量
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真空泵(选配)
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·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵
·极限真空度为50mTorr(参考值,具体请点击)
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通入气体
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·等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)
·不能使用易燃气体及腐蚀性气体。
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可选
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·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
·可选购2-4通道质子或浮子混气系统
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外形尺寸
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620 L ×600 W ×600 H mm
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认证
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CE认证
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质保期
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一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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相关应用
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·请自行根据您的应用测试*佳的等离子功率
·对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间
·对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间
·可根据要求提供300W高功率射频电源
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