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- 产品名称：带3路浮子混气三温区1700℃管式炉
- 产品型号：
- 产品展商：其它品牌
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- 发布时间：2018-03-30
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简单介绍
GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统，其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
产品描述
GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统，其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
技术参数
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炉体结构
（点击图片查看详细资料）
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采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
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炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，*大程度减少能量损失
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内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长炉膛的使用寿命
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三个温区分别被三个独立的温控系统控制
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*大功率
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10KW(需要75A的空气开关 )
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电压
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AC 380V 50 Hz
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加热区
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总加热区长度：25" (630 mm)
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加热温区1长度：7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃ 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
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升温速率：10°C/min
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加热温区2长度：10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热，*高温度可达1700℃
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*快升温速率：5°C/min
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加热温区3长度：7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃
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*大升温速率：10°C/min
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炉管和法兰尺寸
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99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
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（标配）( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L
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一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表
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仪器中包括4个氧化铝管堵
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温控系统
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3个温控系统，都是PID30段程序化控温
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控温仪表操作视频
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控温**度
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+/-1°C
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低真空系统
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采用TRP-12的双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr.
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一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接
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防腐型真空计
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其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
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三路浮子混气系统
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3个浮子流量计（**度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
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**路气体流量范围为10-100 cc/min.
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**路气体流量范围为16-160 cc/min.
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第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
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一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接
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移动架上安装有4个不锈钢针阀
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尺寸
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高温炉: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
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质保期&
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一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈 .)
CE certified
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Operation Manual Download Catalog Quick test instruction