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- 产品名称：小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE
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- 发布时间：2018-03-31
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简单介绍
小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE
产品描述
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。
特征
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与普通CVD相比可以在低温环境下进**相沉积实验
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对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
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通过工艺调节来控制化学计量
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能够广泛地用于各种材料沉积，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等.
技术参数
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开启式管式炉
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输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW
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*高工作温度1200℃（小于1小时）
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连续使用温度1100℃
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采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率
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高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x 780mmL
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可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护
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加热区长度为200mm,恒温区长度为60mm(+/-1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
  
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等离子体射频电源
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输出功率: 5 -500W可调
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稳定性为+/-1%
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射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005%
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*大反向功率: 200W max
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射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极
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噪声<50 dB.
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冷却方式：空气冷却
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输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
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真空法兰和接头
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真空法兰采用304不锈钢制作
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左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
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右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍
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仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能（请点击图片查看详细介绍）
 
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真空泵
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AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
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2L/s
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与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr
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进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
 
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产品尺寸和重量
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外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
净重: 160 lbs
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可选配置
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请点击查看下面的混气及气液混合系统
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防腐型小型三路浮子混气系统
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精密气液混合系统
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三路质子混气系统
 
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开门断电
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为保证使用**，该电炉为开门断电设计
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质保期
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一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）
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CE Certified
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使用注意事项：
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炉管内气压不可高于0.02MPa
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由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
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当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
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进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
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石英管的长时间使用温度＜1100℃
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对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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