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等离子源
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等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W
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输出频率： 13.56 MHz
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三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）
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腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L
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仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）
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滑动法兰
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有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
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样品可以放入加专线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
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加热圈和温控系统
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加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃
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加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失
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温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC
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输入电源： AC 220V
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Coil heater
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Quartz protective tube
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Temp. Controller
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Heating coil
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Alumina boat
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两通道混气系统
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混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
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三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,
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混气箱上安装有304不锈钢针阀
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配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
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混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
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净重: 14 lbs.
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真空和气体接口
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标准的真空配置有
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一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀）
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一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
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一个数字式真空显示计
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等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。
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可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处
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（注意：不可通入易燃易爆性气体）
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真空泵
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仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,
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进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr
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移动架
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设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面
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仪器尺寸
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等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
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温控盒： 4"H x 10"W x 8"D
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移动架：600 x 600 x 600mm
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重量
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70 lb (包含真空泵)
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质保期
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一年质保期（不包含石英管和密封圈）
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CE 认证
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