- 如果您对该产品感兴趣的话,可以
- 产品名称:三温区1500℃ PECVD系统-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
- 产品型号:
- 产品展商:其它品牌
- 产品文档:无相关文档
- 发布时间:2018-03-31
- 在线询价
简单介绍
三温区1500℃ PECVD系统-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
产品描述
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。
技术参数
三温区开启式1500℃管式炉
|
-
*高工作温度1500℃
-
连续使用温度1400℃
-
三个温区分别由三个温控系统来控制,都可设置30段升降温程序
-
每个温区长度为200mm
-
总温区长度为600mm
-
炉管为高纯刚玉管
-
炉管尺寸:(标配)60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
-
炉管尺寸:(选配)80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
-
输入电源: 208 – 240V AC,单相
-
*大功率:6.6KW
-
配有一对不锈钢真空密封法兰,法兰上带有石英观察窗口
-
内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层,可以提高设备加热效率及反射率,同时延长仪器的使用寿命。(点击图片查看详细资料)
|
射频电源
|
-
输出功率: 5 -500W ± 1% .
-
射频频率: 13.56 MHz ±0.005% .
-
反射功率: *大 200W
-
匹配: 自动
-
射频接口: 50 Ω, N-type
-
噪音: <50 dB.
-
冷却: 风冷.
-
电源: AC 208-240V, 50/60Hz
|
防腐型真空计
|
-
输入电源 24V,1A DC(配有一电压转换器)
-
测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.
-
数据显示 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr
-
接头 1/8"NPT 接头
-
产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
|
真空系统
|
-
采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
-
KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.
-
管内真空可达10E-2 Torr
-
|
质量流量计混气系统
|
-
四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.
-
MFC 1范围: 0~100 sccm
-
MFC 2和3: 0~200 sccm
-
MFC 4范围: 0~500 sccm
-
一个混气罐,底部装有泄废液口.
-
4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.
-
进气口: 4个1/4NPS.
-
出气口: 4个 1/4NPS.
-
采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制
![](http://zt.yzimgs.com/303601/images/201803/201803310039472564.jpg)
|
温控系统
|
-
三个温区分别由三个温控系统控制
-
采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
-
带有超温和断偶保护
-
控温精度:+/- 1 ºC
-
控温仪表操作视频
-
可选;此款设备可以安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑
![](http://zt.yzimgs.com/303601/images/201803/201803310040028339.jpg) ![](http://zt.yzimgs.com/303601/images/201803/201803310040152599.jpg)
|
外型尺寸
|
-
炉体:550 x 380 x 520 mm
-
炉体下端移动柜:1800×600×600mm
-
净重:220 Lbs.
-
运输重量:1200lbs
|
质保期
|
一年质保期,终身维护,相关耗材除外如炉管,密封圈等易耗件
|
|
-
CE认证
-
所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证
-
若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
|