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- 产品名称:1200℃三温区开启式立式管式炉--OTF-1200X-III-V
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- 发布时间:2018-04-02
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简单介绍
1200℃三温区开启式立式管式炉--OTF-1200X-III-V
产品描述
OTF-1200X-III-V是一款三温区的立式管式炉,*高温度可达到1200℃。此款管式炉不仅可在真空或气氛保护环境下对样品进行快速地热处理和淬火,同时也可用PVD、CSS和CVD方法来制作薄膜。三个温区分别由三个独立的温控系统来控制,每个温区可设置30段升降温程序,其控温精度为+/-1℃,炉体下端安装有一移动炉架,以便于设备移动。
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技术参数
名称
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1200℃三温区开启立式炉-OTF-1200X-VT-III
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炉体结构
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l采用双层壳体结构并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃
l炉体设计为开启式,以方便与更换炉管
l采用高纯氧化铝作为炉膛材料,炉膛表面涂有美国进口高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命
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基本参数
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温度:长期1100℃ (1200℃<1h)
建议升温速率:≤10℃/min
热偶:K型热偶
电压:AC208-240,50Hz
*大功率: 7KW
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炉管尺寸
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以下几种尺寸的高纯度石英管可选:
lOD:Φ50 mm×L1000mm
lOD:Φ60 mm×L1000mm
lOD:Φ80 mm×L1000mm
lOD:Φ100 mm×L1000mm
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加热区
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加热区长度:900mm (三温区300+300+300mm)
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加热元件
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掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)
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温控系统
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l包含一款YD518P型温度控制器
lPID自动控温系统
l智能化30段可编程控制
l控温精度:±1℃
l默认DB9 PC通信连接端口
l通过MET认证
l可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。
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密封法兰
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1.上端法兰上焊有一吊环,以方便用高温丝将样品吊在炉管中进行烧结
2.可选:本公司生产的带铰链式法兰和进口的防腐型数字式真空计
3.多种接头可选,具体请咨询销售部
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外形尺寸
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l1100(L)×450(W)×670(H)(移动炉架不包含在内)
l600mm(L)×600mm(W)×2000(H)(包含管子法兰的整体尺寸)
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净重
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约115kg(不包含移动炉架)
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质保期
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一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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真空系统
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l通过机械泵可达到10E-2 Torr.(参考值,具体请点击)
l通过分子泵泵可达到10E-5 Torr.(参考值,具体请点击)
l漏气率< 5 mTorr / min.(参考值,具体请点击)
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使用注意事项
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l炉管内气压不可高于0.02MPa。
l由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保**,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****。
l石英管的长时间使用温度<1100℃。
l当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当。
l进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击。
l对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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