- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：1200℃三温区三通道混气CVD系统--1200X-80-III-F3LV
- 产品型号：
- 产品展商：其它品牌
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-04-02
- 在线询价
简单介绍
1200℃三温区三通道混气CVD系统--1200X-80-III-F3LV
产品描述
1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到 10-2 torr。
技术参数
|
壳体结构
|
-
双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度
-
保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能
-
内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
-
可开启式，更换炉管方便
|
|
功率
|
5 KW
|
|
电压
|
AC 208-240V单相, 50/60 Hz
|
|
加热元件
|
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
|
|
*高工作温度
|
1200℃
|
|
连续工作温度
|
1100℃
|
|
*大加热速率
|
≤20 ℃/min
|
|
石英管&
密封法兰
|
-
80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
-
仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门（点击下面的图片查看详细的信息）
-
|
|
加热区长度
|
-
三个温区长度: (880mm, 35" in total)
-
温区 1: 220mm (8.6" )
-
温区 2: 440mm (17.3")
-
温区 3: 220 mm (8.6") 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
|
|
温控系统
|
-
三个精密温度控制器，可独立控温
-
PID控制方式,通过PWM固体继电器。
-
30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序.
-
带有过热和断偶保护功能
|
|
控温精度
|
+/- 1℃
|
|
真空密封系统
|
-
两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）.
-
通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵，真空度可以达到10-4 torr.
-
漏气率 < 5 m-torr / min
|
|
真空泵
|
采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米
|
|
数字式真空显示计
|
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
|
|
气体流量计和压力表
|
-
三个浮子流量计，能够检测到气体的流
-
三路浮子量程分别为
-
10-100 cc/min.
-
16-160 cc/min.
-
25-250 cc/min
-
内部安装有一混气罐
-
有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力
|
|
阀门
|
四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量
|
|
外形尺寸
|
-
炉子: 1100 X 450 x 670mm
-
底部移动架: 600x600x597mm
|
|
开门断电
|
为保证使用**，该电炉为开门断电设计
|
|
净重
|
约 90 Kg
|
|
运输重量
|
245 lbs
|
|
质保期
|
一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件
|
|
使用注意事项
|
-
炉管内气压不可高于0.02MPa
-
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
-
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
-
进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
-
石英管的长时间使用温度＜1100℃
-
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
|