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- 产品名称：1200℃三温区三通道混气CVD系统--OTF-1200X-80-III-F3LV
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- 发布时间：2018-04-02
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简单介绍
1200℃三温区三通道混气CVD系统--OTF-1200X-80-III-F3LV
产品描述
技术参数
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壳体结构
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双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度
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保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能
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内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
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可开启式，更换炉管方便
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功率
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5 KW
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电压
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AC 208-240V单相, 50/60 Hz
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加热元件
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Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
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*高工作温度
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1200℃
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连续工作温度
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1100℃
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*大加热速率
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≤20 ℃/min
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石英管&
密封法兰
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80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
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仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门（点击下面的图片查看详细的信息）
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加热区长度
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三个温区长度: (880mm, 35" in total)
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温区 1: 220mm (8.6" )
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温区 2: 440mm (17.3")
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温区 3: 220 mm (8.6") 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
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温控系统
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三个精密温度控制器，可独立控温
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PID控制方式,通过PWM固体继电器。
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30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序.
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带有过热和断偶保护功能
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控温仪表操作视频
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控温精度
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+/- 1℃
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真空密封系统
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两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）.
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通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵，真空度可以达到10-4 torr.
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漏气率 < 5 m-torr / min
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真空泵
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采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米
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数字式真空显示计
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可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
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气体流量计和压力表
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三个浮子流量计，能够检测到气体的流
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三路浮子量程分别为
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10-100 cc/min.
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16-160 cc/min.
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25-250 cc/min
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内部安装有一混气罐
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有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上，可以检测气体压力及混合槽的压力
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阀门
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四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量
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外形尺寸
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炉子: 1100 X 450 x 670mm
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底部移动架: 600x600x597mm
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开门断电
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为保证使用**，该电炉为开门断电设计
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净重
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约 90 Kg
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运输重量
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245 lbs
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质保期
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一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件
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 CE certified
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使用注意事项
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炉管内气压不可高于0.02MPa
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由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
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当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
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进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
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石英管的长时间使用温度＜1100℃
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对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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