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- 产品名称：氢气炉
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-04-26
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简单介绍
氢气炉主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种个复杂工艺，具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。
产品描述
氢气炉简介
- 用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制
- 采用进口压力控制系统、闭环控制、稳定性高
- 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路密性
- 具有完善到额报警功能及**互锁装置
- 具有良好的人机界面、灵活的工艺性能
技术参数
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控制精度
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±1℃
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电网电压
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380V±10%
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工作温度
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800--1700℃
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冷却系统分置
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出料口及加热炉体两侧
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温度均匀性
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±5℃
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报警功能
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超温、断水、断电报警
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保护气体
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H2、N2
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温控方式
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自动/手动
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*大真空度
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-0.1Mpa
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进料方式
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电动/手动
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炉膛尺寸
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160×166马蹄形管（可定制）
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*大功率
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≤80KW
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炉门、进出料口材质：310不锈钢
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可通多种气体：氧气、氮气、氩气、氢气
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微电脑控制、操作方便，可编程，自动升温，自动保温，自动降温
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备注：可选配系统：1、自动泄压进气系统；2、混气供气系统；3、真空机组；4、USB系统，无纸记录仪，随机打印系统；5、坩埚；6、进口1900型材料