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- 产品名称：1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2018-05-14
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简单介绍
1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）其外管直径11英寸，内管直径8.5英寸，在加热管一端安装有一对高真空不锈钢法兰，法兰上安装有机械压力表和阀门，三个温区都是采用30段可编程PID数字温度控制器进行温度控制，采用K型热电偶进行测温，控温精度+/-1ºC专门针对于用在金属箔上生长薄膜物质，如石墨烯、使用时把金属箔附在内管上。
产品描述
技术参数
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名称
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1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）
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主要参数
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·*高工作温度 1100°C ( < 1 hour )
·正常工作温度: 200~1000°C
·*大升温速率& 降温速率: 10°C/min
. 电压：单相 220V AC, 50/60 Hz
. *大功率：12KW
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壳体结构
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· 采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于. < 70°C.
· 保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，可以*大程度的减少热量的损失.
· 加热元件: NiCrAl电阻丝
· 仪器中包含两个石英管塞，设备在加热前必须放入炉管内，防止热量以热辐射的形式散失
· 如果使用内管进行薄��的生长，那么*大可在8英寸的基片上
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双重石英管结构
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· 高纯石英管
· 内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
· 外管尺寸:279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" L),两端打开，可以连接法兰
· 内管尺寸:216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封闭另一端连接到气体入口和出口
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加热区&温度控制
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· 三个加热区：（总加热区长度：1230mm）
· 温区1: 410mm (16")
· 温区2: 410mm (16")
· 温区3: 410 mm (16")
· 恒温区长度: 900mm( +/- 5℃ ,三个温区设置同样的温度)
· 三个温区都采用PID方式控制温度，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃
· 热电偶：Omega K型铠装热电偶
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加热区
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· 总加热区长度： 900 mm (36")
· 三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
· 恒温区长度: 500 mm（ 如果三个温区在同一个温度)
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控温系统
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· 三个精密温度控制器，采用PID方式控温，并可设置30段升降温程序，每个温区可以进行独立控温
· 热电偶: 三根 K型omega原装热电偶，每个温区各一根
· 控温精度: +/- 1°
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真空密封法兰
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· 仪器中包含有一对不锈钢真空密封法兰，采用硅胶密封圈密封
· 真空度可以达到10^-2 torr（用机械泵）
· 左侧法兰：包括 化学汽相淀积进气口和冷却气体in&out端口
· 右侧法兰: KF40真空接口和， KF40真空阀门直接于KF-40波纹管和真空泵相连接，（如想泵和KF-25接口相连接，需要另购一个KF-40转KF-25接头）
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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