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- 产品名称：定向CVD生长炉
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-05-14
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简单介绍
定向CVD生长炉是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。
产品描述
技术参数
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名称
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定向CVD生长炉
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主要参数
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·*高工作温度 1200°C ( < 1 hour )
·正常工作温度: 1100°C
. 电压;220v
. 功率：1.5W
·加热区：200mm(单温区）
·恒温区：60mm(±1℃）@1000℃
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特点
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1.双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温
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壳体结构
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· 采用双层壳体结构，并带有风冷系统
· 一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数
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炉管
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· 高纯石英管
· 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
· 仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性
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炉体滑动控制系统
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· 触摸屏控制
· 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。
· 含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。
· 可显示高温炉内的炉温，与之通
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滑轨长度
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1200MM
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控温系统
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· 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序
· 设置有温度过高和断偶保护系统
· 控温精度：±1℃
· 可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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