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- 产品名称：1700°C二通道混气高真空CVD系统
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2018-05-14
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简单介绍
1700°C二通道混气高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其*高工作温度可达1600℃，极限真空度可达to10^-5torr。混气系统可以对两种气体进行**的混气，然后导入到管式炉内部
产品描述
技术参数
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名称
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1700°C二通道混气高真空CVD系统
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管
式
炉
系
列
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主要参数
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·*高工作温度.: 1650°C
·连续工作温度.: 1600°C
. 工作电压： 220V
. 功率： 6KW
. 升温速率： ≤5°C/min
·加热区长度: 457 mm (18")
·恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)
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炉管
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· 材质: 高纯氧化铝陶瓷管
· 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上
· （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
· （选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
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壳体
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· 采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度 < 55°C.
· 内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
· 保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失
· 真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动.
· 仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组
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真空法兰于接头
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· 一对不锈钢真空密封法兰已经安装
· 法兰上带有一机械压力表
· 两个精密针阀
· 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口
· 一个1/4"卡套接头
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控温系统
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· 采用PID方式自动控制，并可设置30段升降温程序
· 控温精度: ±1°C
· 热电偶: B型，已经安装在炉内
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质量
流量
控制
器
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壳体
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· 采用 316不锈钢制作
· 混气箱尺寸: Φ80X120mm
· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
· MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根据客户要求定制
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参数
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功率：18W
工作电压：AC 208-240V, 单相, 50/60Hz
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真
高
空
机
组
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参数
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功率：100~110W
工作电压：AC 208-240V, 单相, 50/60Hz
工作范围： 1000 mbar to <1E-7 mbar
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壳体
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· 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
· *大承载量: 600 Lbs on top
· 分子泵控制面板: LCD 数字显示
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控制面板
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· 一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动）
· 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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免责声明
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