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- 产品名称：1700℃三温区三通道混气CVD系统
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2018-05-28
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简单介绍
1700℃三温区三通道混气CVD系统其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5x10-2torr ，可以混合1-3种气体。
产品描述
技术参数
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壳体结构
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双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于55度
保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失
三个温区分别被三个独立的温控系统控制
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功率
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9KW
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电压
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AC 208-240V单相, 50/60 Hz
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加热区
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· 总加热区长度: 25" (630 mm)
· 加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃
· 升温速率: 10°C/min
· 加热温区2长度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热，*高温度可达1700℃
· *快升温速率: 5°C/min
· 加热温区3长度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃
· *大升温速率: 10°C/min
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炉管和法兰尺寸
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· 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
· （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L
· （选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L
· 一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表
· 仪器中包括4个氧化铝管堵
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低真空系统
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· 采用双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr.
· 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接
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三路浮子混气系统
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· 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
· **路气体流量范围为10-100 cc/min.
· **路气体流量范围为16-160 cc/min.
· 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
· 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接
· 移动架上安装有4个不锈钢针阀
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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