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- 产品名称：双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
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- 发布时间：2018-05-28
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简单介绍
双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
产品描述
技术参数
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名称
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双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱
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产品结构
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· 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
· 连续工作温度:1100℃
· 两个炉体都可以设置30段升降温程序
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真空系统
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· 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
· KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
· 管内真空可达10E-2 Tor
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等离子射频电源
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· 输出频率: 13.56 MHz ±0.005%
· *大射频功率: 500W
· 匹配: 自动匹配
· 噪音: <50 dB.
· 冷却: 空气冷却.
· 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz
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质量流量计
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· 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
· MFC1范围: 0~100 sccm
· MFC2和3: 0~200 sccm
· MFC4范围: 0~500 sccm
· 一个混气罐，底部装有泄废液口.
· 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
· 进气口: 4个1/4NPS.
· 出气口: 4个 1/4NPS.
· 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
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炉管&密封法兰
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· 高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
· 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计
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循环手套箱
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· 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
· 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm
· 一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接
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注意事项
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· 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度＜1100℃
· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等
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保修期
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一年保修，终身技术支持
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