在对食品厂、药厂、化妆品厂的生产车间**时，在车间洁净度不超过30万级时，空气中的臭氧浓度达到10-20mg/m3即可，并且要密闭作用30分钟的时间；如果同时需要对车间内已有的设备和物品**，臭氧浓度需要达到20-30mg/m3；如果是对10万级、万级、局部百级洁净度的车间**时，臭氧浓度须达到30-100mg/m3。在对包装材料进行臭氧熏蒸**时，**室/柜内空气中的臭氧浓度一般在50-200mg/m3之间；在对生鱼片、虾仁等水产品进行臭氧水浸泡**时，水中臭氧浓度一般在0.8-1.0ppm之间。
臭氧在大气中达到一定的浓度时就会造成环境污染。我国规定在居住环境，臭氧浓度超过0.15mg/m3时就构成空气污染；在作业场所，臭氧浓度超过0.2mg/m3时就构成污染。
空气中的臭氧浓度达到0.01-0.02mg/m3时，人即可嗅知。