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无尘车间净化工程的洁净度受气流影响
　　无尘车间的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些产生的尘埃一旦扩散，即无法维持洁净空间，因此必须利用气流将产生的尘埃迅速排出室外。无尘车间内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而维持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以*适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
　　另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之维持亦为一重要因素，均一气流若无法维持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面产生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上。垂直层流式方向要维持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象产生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。 影响洁净室的气流因素很多，如制程设施、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设施上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
　　一般操作台或生产设施等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设施后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象产生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少*低；组装材料之选择是否恰当、设施怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。



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