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- 产品名称：快速退火炉
- 产品型号：JETLIGHT 50
- 产品展商：Semco
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- 发布时间：2018-09-12
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简单介绍
SEMCO JETLIGHT 50快速退火炉是一个简单稳定的热处理系统，快速退火炉适合于广泛*大尺寸为直径2英寸的基片材料和结构的快速热低温退火(RTA)，（如电子级硅、钢铁、玻璃、单晶硅、III-V族化合物、II-VI族化合物、锗、超导体、陶瓷等等）。快速退火炉配有一个管状石英反应室,因此可兼容处理*大长度为150毫米的3 D样片。
产品描述
法国RTP系列的快速退火炉由法国Semco公司专业开发制造，法国工艺保障。温度均匀度≤1%，处理的*大尺寸可以达到300mm，*高温度可以达到1200摄氏度，处理过程可以在真空环境或者惰性气体的环境中执行，做多可支持4路进气，可以用到的气体包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。
基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序，每套程序可以支持高达100个步骤的设定，带USB2.0的接口。
包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
Semco的退火炉主要几款型号：
1） JetLight 50
产品特点：
1、基片从前面载入/取出；
2、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；
3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；
产品技术参数：
1、腔体尺寸：直径50mm×深度150mm；
2、红外卤素灯：6支； *大功率：15KW；
3、红外卤素灯冷却方式：风冷；
4、温度范围：室温~1000 ℃；
5、温度精度：±1℃；
6、温度控制：快速数字PID控制；
8、热电偶：K型热电偶；
9、工艺气体气路配质量流量计：压力：2bars；
10、尺寸：500*500*400mm
(W*D*H)；
2）JetFirst 100C
基片从前面载入/取出；
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JetFirst Series
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JetFirst 100C
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JetFirst 200C
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JetFirst 300C
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处理*大样品尺寸
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100mm
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200mm
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300mm
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*高温度(℃)
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室温~1200℃/s
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室温~1200℃/s
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室温~1200℃/s
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工艺气体
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1~4路
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1~4路
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1~4路
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红外卤素灯
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18支，*大功率：34KW；
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18支，*大功率：34KW；
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18支，*大功率34KW；
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红外卤素灯冷却方式
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风冷
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风冷
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风冷
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温度控制
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PID数控
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PID数控
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PID数控
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温度精度
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±1℃
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±1℃
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±1℃
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热电偶
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K型热电偶
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K型热电偶
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K型热电偶
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机器外观
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台式机
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台式机
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立式机
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设备尺寸(LxDxH)
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850 x 800 x700mm
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850 x 800 x700mm
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1000 x 850 x1500mm
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3）JetStar
也可以用于污染物处理；
基片从上面载入/取出；
*大可支持的尺寸：直径为300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片；
*高温度高达1000摄氏度；
升温速率为40K/sec；
降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃*大降温速率控制在30K/sec；
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