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- 产品名称：匀胶旋涂仪
- 产品型号：M-SPIN 200 Spin Coater
- 产品展商：其它品牌
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- 发布时间：2020-03-08
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简单介绍
M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径*大为8英寸的晶圆片，或*大为6英寸 x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作，分配移动托盘，可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制，和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块，该模块连接到柔性电缆，外接到一个19英寸外部控件上。
产品描述
产品参数：
可处理衬底尺寸：直径*大为8英寸的晶圆片，或*大为6英寸 x 6英寸的衬底；
旋转速度：*高达9,000 rpm（以1 rpm步长可调）；
固定晶圆片或衬底的装置：真空托盘；
处理时间：（1-999秒，可在1秒内调整）；
加速度：1-5,000rmp/sec；
其他参数：20个程序段，每个40步
设备尺寸：约 480mmx 360mm x 416mm(不带盖子)
控制器尺寸：约 145mmx 100mm x 120mm
选配件：
适用各种尺寸大小的托盘
分配臂
泵
主营产品：
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Thetametrisis膜厚仪
Microxact探针台
ALD原子层沉积系统
TRION反应离子刻蚀机
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻机
Novascan紫外臭氧清洗机
Nilt纳米压印机
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板
Annealsys高温退火炉
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统，湿站系统
Wabash/Carver自动压片机
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