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- 产品名称:旋转冲洗干燥机
- 产品型号:SRD Spin Rinse Drye
- 产品展商:其它品牌
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- 发布时间:2020-03-08
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简单介绍
•旋转冲洗干燥机用于冲洗和干燥直径*大为12英寸的圆形或*大7英寸方形的基材;
•可提供满足您特定要求的标准转子和定制转子。转子可以轻松快速地更换;
•处理腔室上的储罐加热。处理腔室由电抛光不锈钢制成。包含氮气加热;
正面的主开关,机械门锁,PLC彩色触摸屏和无刷伺服电机是标准设备的一部分。
产品描述
优势:
• 处理腔室加热,**紧急停止;
• 氮气加热,**紧急停止;
• 完全从正面操作;
• **可靠的伺服电机,EN954-1,类别3;
选配件:
电导率测量
抗静电设备
回收去离子水
另外配件:
氮气外部压力调节器
氮气流量计
产品参数:
尺寸(英寸)
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H
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H1
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H2
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H3
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H4
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H5
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B
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B1
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B2
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B3
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T
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06
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691
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320
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282
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244
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206
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50
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455
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73
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131
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354
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665
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08
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857
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432
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352
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272
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192
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50
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521
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100
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190
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461
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737
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12
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997
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432
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352
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272
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192
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50
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661
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100
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190
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531
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817
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主营产品:
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Thetametrisis膜厚仪
Microxact探针台
ALD原子层沉积系统
TRION反应离子刻蚀机
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻机
Novascan紫外臭氧清洗机
Nilt纳米压印机
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板
Annealsys高温退火炉
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统,湿站系统
Wabash/Carver自动压片机
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