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- 产品名称：加热台 UNIXX系列
- 产品型号：HT20e HT20p
- 产品展商：其它品牌
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2020-03-25
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简单介绍
可处理基片达200 mm / 8英寸
半自动单面烘烤系统
设计用于：软烘（预烤）；硬烘
HMDS（六甲基二硅氮烷）的选配：蒸气起泡，真空干燥
HT20e加热台设计用于基材的单面烘烤，用于预烘烤和后烘烤或脱水烘烤过程。尤其适用于粘合剂底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的热板模块。带有电子可编程升降针的烘烤模块，配有触摸屏，便于操作。 软件提供了简单方便的过程控制和配方创建。 界面简单易于使用，可随时控制流程。这些温度模块有台式安装式，塔式安装式或独立式供选择。
产品描述
设计用于以下应用：旋涂或喷涂，显影，烘焙和冷却以及EBR
特点：
温度模块（电动）
加热板系统带有电动升降顶针
加热板模块（*高300°C）
电子驱动的升降针
标准的顶针由不锈钢和PEEK**制成（*高250°C）
升降针，可编程（根据不同停止的速度和步长）
加热板表面上的真空管路用于固定基板
手动控制加热板的顶盖
集成式排气
半自动控制器单元：
7英寸彩色触摸屏
配方编辑器来编写，管理和配置
实际可视化效果监控
用于配方，流程，日志文件的库功能（例如，错误跟踪历史记录）
具有密码保护服务访问权限的用户管理
通过USB或Intranet连接进行更新和备份功能
产品参数：
基板尺寸：*大直径200毫米（直径8英寸）圆片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；
温度范围：*高300°C *，以1°C/步可调；
温度精度：在100°C时<士1°C；
升降针(1套）：直径50 mm（直径2英寸）到直径200 mm（直径8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；
加热台表面：由硬质阳极氧化铝制成；
加热台顶盖：由微抛光不锈钢制成；
加热台外壳：由PP制成；
控制器单元：7寸触摸屏；
电压：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫兹；
CDA：8 bar，管外径6 mm；
真空：-0.8 bar / -600bar，管外径6 mm；
排气炉：1 x 外径 40毫米，80立方米/小时；
氮气（可选）：4土2bar，管外径6 mm；
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