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- 产品名称：湿法设备WS1000
- 产品型号：WS-1000
- 产品展商：其它品牌
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-06-15
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简单介绍
WS-1000湿法设备 全白色聚丙烯构造可内置任何Laurell公司的旋涂机排放简便的入氮口和DI喷头如果需要更小尺寸有微型的供选择一般信息Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。典型的WS-1000处理过程包括（但不限于）： 涂敷蚀刻开发-水/溶剂清洗-水/溶剂确认，硫酸/双氧水（原
产品描述
湿法设备特点：
全聚丙烯构造（见下文的自灭火功能）
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层（易于拆除）
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器，水泵，容器等隔离的组件/容器
湿法设备选项：
l 排气联锁控制处理器（一些型号是标准的）
l 加热和原材料搅拌
l 抵抗力冲洗
l 排水转向装置
l 真空负荷棒
l 晶片盒座
l 检漏
l 轻塔
可以根据要求采用更好的材料
WS-1000-CP5 符合SEMI S93标准应用在消防**和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。
更佳的
WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合严格的FMRC4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和彻底燃烧。这种先进的材料也达到或超过产生低烟和*小毒副产品的检测标准。
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