旋转涂布机

该旋转涂布机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺。
这一系列旋转涂布机还可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
MYCRO MSC-650系列旋转涂布机旋涂仪转速获NIST标准认证。
MYCRO MSC-400B型旋转涂布机，为高精度数码控制器的匀胶旋涂仪，非常方便设定速度和加速度程序段，旋转涂布机内共设有20个51步程序段或者手动模式，100~8000RPM的稳定转速，也可特别订制1~12000RPM的转速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM。

MSC-400B系列旋转涂布机的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%，获美国NIST激光测量标准认证，无需校准。
请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋转涂布机/旋涂仪订购代码：
NPP材质的6英寸旋转涂布机系列型号
MSC-400B-6N
MSC-400B-6N-IND
MSC-400B-6N-OND
◆旋转涂布机为NPP材质台式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆旋转涂布机可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋转涂敷仪
◆销量*好的台式系统旋转涂布机
NPP材质的8英寸旋转涂布机系列型号：
MSC-400B-8N
MSC-400B-8N-IND 
MSC-400B-8N-OND
◆旋转涂布机为NPP材质内置式带远程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆旋转涂布机可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆这系列旋转涂布机是销量*好的wet-bench型系统
MSC系列旋转涂布机内的高精度数码控制器：
可设定存储20个不同样片的旋涂程序段；
每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
旋转涂布机随意任意时间范围的加减速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；
      这一系列的旋转涂布机上的液晶显示屏可以实时读取任意速度状态
需要更详细的咨询，请与迈可诺中国营销服务中心联系
Tel:(上海)(京)(汉)Email:sales@mycro.com.cn
 

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