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扫描光学显微镜的特点

1．高分辨力能力远远超过扫描电子显微镜（SEM），以及光学粗糙度仪。样品表层的三维数据满足了研究、生产、质量检验越来越微观化
的要求。

2．非破坏性，探针与样品表层相互作用力为10^－⁸N以下，远比以往触针式粗糙度仪压力小，因此不会损伤样品，也不存在扫描电子显微镜
的电子束损伤问题。另外扫描电子显微镜要求对不导电的样品进行镀膜处理，而原子力显微镜则不需要。

3．应用范围广，可用于表层观察、尺寸测量、表层粗糙测量、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测
定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。

4．软件处理功能强，其三维图象数量其大小、视角、数量色、光泽可以自由设定。并可选用网络、等高线、线条数量。图象处理的宏管理，
断面的形状与粗糙度解析，形貌解析等多种功能。

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