带Windows软件自动控制系统 状态：运行极好 真空腔体尺寸： φ1150mmxH 1500mm 衬底圆顶尺寸： φ950 （3～30rpm） 耐加热系统： φ20mm 4kw 蒸发源： 2EB Guns (Plasma System) G-12100（φ35ccx20） D-10001 (10kw) IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass φ10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃±10℃（21kw）