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涡轮分子帮浦转速控制对压力变化

将腔体压力抽至mbar，其目的是为达到实验开始前的背景压力值。开启监控软体（T WARE 32）调整与观察涡轮分子转速为600rps，
再开启质流控制器（MFC），设定气流通量为5sccm，通入氮气。等待气流通量通入腔体达到稳定值后，观察腔体压力变化量。并依据
此方法，每次增加涡轮分子转速100rps增加至1200rps，纪录分子帮浦转速与压力的数据值。
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