洁净室中的气流会影响到洁净度,因为人、机器、建筑物等所产生的尘埃的移动和扩散均会受到气流的支配,进而会影响洁净度。因此,洁净室选择恰当稳定的气流很重要。
一般洁净室中的气流速度选择0.25~0.5m/s之间。此气流速度属于微风区域,容易受人、机器等的动作干扰并趋于混乱。特别是在壁面,气流会沿着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。虽然我们可以通过提高风速来避免干扰从而保持洁净度,但运营成本会增加不少。
若是想在不增加成本的前提下保持洁净室中的气流均一、保持洁净度,那以下三点我们应尤其注意:
1.吹出面的风速不可有速度上的差异
2.地板回风板吸入面的风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流现象发生,而0.5m/s的速度,气流则比较均一
3.选择测量风速的仪器时应符合一般洁净室的要求。目前,可使用宏瑞科技的WS-40型数字风速仪测量风速,其风速均取在0.25~0.5m/s之间,符合用户需求
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