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光学影像量测仪
光学仪器中的二次元影像量测仪主要应用在精密测量上,光源可包含一般光源和单色光源二种。前者包括自动视准仪、光学投影机、工具显微镜、光学尺、测长仪、光学量块比测仪、电子高度规和光学分度头等均用光学原理作为测量的基础。后者包括光学平板和氦气灯、激光量块比测仪、激光准直仪、激光扫瞄仪和激光干涉仪等均利用单色光源的特性,以提升精密度。
光学投影机
光学投影机又称轮廓投影机或简称为投影机,即垂直型投影机,系利用光学原理将工件的轮廓经各种透镜及反射镜投影,并放大成各种倍数后,先投影到半透明的投影幕上,再配合各种标准图片,作非接触式的测量。其投射路径有
(a) 垂直型投影机;(b)落地型投影机;(c)水平型投影机。投影机与灯炮通电后,光线经过滤热镜片、透镜组、工作台平板、反射镜、投影幕等,将工件轮廓或表面经放大后并投影至半透明的投影幕上。通常,必须调整工件与投影透镜间至适当的焦距距离,使投影幕至清楚的状况,以确保工件测量的准确性。目前市面上可见到光学投影机的小读值可达到1μm。
光学投影机的构造,可由三个不同测量系统而有不同构造。若以垂直型投影机为例,其投影透镜可由5x至100 x的放大倍率,而常用者有10 x、20 x、50
x、100x等四种。测量工件则可用轮廓照明或表面反射照明。附件包括回转式装物台、分厘头 ( 机械式或光学式 )、显示器、V型块、中心顶架、各种倍率的透镜( 可随意更换 )、投影幕、标准图片、玻璃尺和照相设备等。
光学投影机是应用放大作用,可作长度、角度、形状、表面等检验工作。属非接触式、二次元影像量测仪测量,尤其适合弹性、脆性材料的测量。除可利用照相、二次元影像量测仪坐标处理机、数字显示器、光眼读取数据或自动寻边器(flip-upedgesensorarm)、打印机等接口设备,并可用RS-232与计算机联机以达迅速、确实及统计分析等优点。唯对透明或半透明物体测量效果稍差。
工具显微镜的详细构造除光学系统外,尚有照相设备、屏幕显示器、数字显示器、表面照明等设备。物镜放大倍率为3 x,测量范围为73
mm,目镜放大倍率固定为10 x,物镜可更换5 x、10 x,形成30 x、50 x、100
x等三种不同倍率供选用。目镜上有许多标准片,如十字线、同心圆、螺纹牙形等网线,可依测量状况选用。CNS
11276为我国国家标准的工具显微镜可参照。测量尺寸时,可借着分厘头的移动量得知其长度大小,亦可借着圆形台面旋转得知角度大小。工具显微镜大缺点为单眼,因此观察时易造成视觉疲劳。目前有些厂商已改用双眼,以矫正此缺失。目前市面上可见到工具显微镜的小读数可达到0.1μm。
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