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净化工作台使用性能
净化工作台因而外方气流不致混入操作区 , 外流式水平式使净化后的空气面向操作者流动 . 但如进行有害物质实验操作则对操作者有利 . 水平式净化工作台工作多为开放时 , 没有防护挡板 , 虽然操作和拿取物品较为方便 , 但可能受外界气流的影响而引起不接空气混入。
如果使用和维护得当 , 净化工作台是较为精密的仪器 . 可以取得良好的效果并可延长使用寿命。
如GMP车间内,超净工作台主要是用高效过滤器来净化空气的其高效过滤器是用一定的使用寿命的需要定期更换。如果自身工作台处于较干净的环境中。那更换频率较低;如果只是普通实验室,应 2 年换一次高效过滤器,以保证其效果。然而在热带或亚热带地区,超净台使用寿命的长短与空气的洁净度有关。温带地区超净台可在一般实验室使用。由大气中含有大量的花粉,或多粉尘的地区,工作台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情下不应将超净台的进风罩对着开敞的门或窗,以免影响滤清器的使用寿命。
因此,净化工作台空气经过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误。NASA译者注:美国航空航天中心)和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且了许多基本的污染控制理念,其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。
很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为洁净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上,半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后。并使用无脱落的物质。工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。
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