真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近 年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。 据《2013-2017年中国真空泵制造行业深度调研与投资预测分析报告》数据显示,在我国真空泵市场上,外国企业的进入与成功已成为不可争辩的事实,日本真空各地布点,德国莱宝在中国扩建,美国泰悉尔集团、韩国优成等国际厂家也纷纷寻找伙伴在中国建制造基地。他们的胃口很大,势有鲸吞真空泵市场之势。近年来,虽然有一些企业逐渐崛起,在真空泵市场上占据了较为的地位,但是多数企业研发能力差,与国外同行相比,产品在技术上仍处于劣势。
真空泵压强范围
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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