在清理室中因为存在静电,使去除污染变得比较困难。尘粒由于静电的作用总是容易粘到硅片上,以致产品损坏、优率降下。
我们*大的问题是要找到适合清理室使用的防静电材质。在LCD行业,玻璃基板的变大,吸引电荷的能力也增强。由于基板的尺寸大,任何污染都也许以致优率降下。
与其它的污染控制行业一样,LCD行业也一直在寻找能解决ESD问题的新型材质。在清理室使用的材质也更也许地使用防静电离子风机,在棉签和抹布上也可以尝试发现新材质来代替传统材质。