新品晶圆表面用二氧化硅SiO2标准粒子的介绍
产品名称：
SiO2微粒子标准溶液
纳米级别二氧化硅
SiO2标准粒子
晶圆表面用二氧化硅
纳米二氧化硅™尺寸标准
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2颗粒的浓缩水悬浮液，具有高度均匀的尺寸分布。
这些粒径标准目前提供的标称尺寸范围为 15 至 200 nm，非常适合为下一代晶圆和光掩模检测系统生产高质量校准标准。
虽然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉积系统为表面缺陷校准标准的生产提供了*佳结果，但较旧的 MSP 系统和其他制造商的系统也适用于纳米二氧化硅尺寸标准。
特征
+ 极其均匀的尺寸分布
我们的纳米二氧化硅尺寸标准采用获得**的 SiO2合成工艺开发，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI *追溯性测量的峰直径
允许产量提高和计量小组根据 ISO 9000 标准和 SEMI 指南建立其检查和缺陷审查方法的*追溯性。
+ 受到强烈 DUV 辐射时稳*
MSP 的 SiO2颗粒在暴露于 DUV 辐射时不会降解，这与 PSL 球体不同，PSL 球体的尺寸会减小。
+ 易于使用
NanoSilica 颗粒悬浮液在滴管瓶中提供，以便在您的应用中混合具有适当数量浓度的悬浮液时使用方便。
+ 高粒子浓度
一些应用需要高浓度。 MSP 的颗粒浓度是业内*高的之一。
+ 轻松辨别模态（峰值）直径
+ 避免由于平均和峰值直径值之间的差异而导致的差异
+ 制备适用于效率相对较高或较低的气溶胶产生装置的稀释悬浮液
+ 为***的检测工具创建持久的校准标准
+ 消耗更少的材料；存钱
+ 随附校准和*追溯性证书以及带有处理和处置说明的**数据表 (SDS)
型号
目录编号
标称粒径 [nm]
认证1峰值直径 [nm]
大约
Size Dist. Width, RFWHM2
1044
NS-0015A
15
14-16
13%
1046
NS-0018A
18
17-19
12%
1047
NS-0020A
20
19-21
11%
1048
NS-0024A
24
23-25
10%
1075
NS-0027A
27
26-28
9%
1049
NS-0030A
30
29-31
8%
1079
NS-0032A
32
31-33
7%
1062
NS-0035A
35
34-36
1076
NS-0037A
37
36-38
6%
1051
NS-0040A
40
39-41
1063
NS-0045A
45
44-46
5%
1052
NS-0050A
50
49-51
1077
NS-0055A
55
53-57
1053
NS-0060A
60
58-62
4%
1067
NS-0064A
64
62-66
1054
NS-0070A
70
68-72
1068
NS-0074A
74
72-76
1055
NS-0080A
80
78-82
1069
NS-0084A
84
82-86
1057
NS-0090A
90
88-92
1070
NS-0094A
94
92-96
1058
NS-0100A
100
98-102
1071
NS-0104A
104
102-106
1059
NS-0125A
125
120-130
1060
NS-0150A
150
145-155
1061
NS-0200A
200
190-210
1给*目录号的认证直径将在规*范围内提供。
2相对半高宽（半高全宽）； FWHM 除以模态直径。
粒子组成
无*形SiO2
粒子密度
1.9 克/厘米3
折射率
633纳米时为1.41英寸
体积
5 毫升
专注
每毫升 1013至 1015颗粒
截止日期
≥ 24 个月
添加剂
乙醇（按质量计 5-20%）
有机稳*剂（<0.1% 质量）
储存和处理
在室温下储存（参见校准和*追溯性证书
更多详情。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都*选择，是市面上***、高质量的校正标准，适用于*新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。 ***的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即*做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳*的质量，因此SiO2微粒子是*佳的替代产品。 NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有**的SiO2合成技术，*以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布，从目前*小的微粒子尺寸来看，NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸*均匀，适合做尺寸大小峰值的量测的工具。 NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品，加上ISO 9000与SEMI的认证，让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。 NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴*，让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限，而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。 产品优势 •尺寸大小分布均匀 •NIST traceability 的尺寸大小 •DUV及EUV的照射下拥有稳*的质量 •高浓缩度微粒子悬浮溶液 产品效益 •易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值 •*避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性 •适合气胶产生设备使用 •提供耐久校正标准给先进的检测设备使用 •省钱而且耗用量少
沪公网安备 31011502007543号
